Journal of the Korean institute of surface engineering (한국표면공학회지)
- Volume 30 Issue 3
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- Pages.213-217
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- 1997
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- 1225-8024(pISSN)
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- 2288-8403(eISSN)
The characteristics and adhesion strength of TiN multilayer deposited by D.C. magenetron sputtering
D.C. 마그네트론 스파터림법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀착력에 대하여
Abstract
Keywords