한국표면공학회지 (Journal of the Korean institute of surface engineering)
- 제30권1호
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- Pages.63-68
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- 1997
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- 1225-8024(pISSN)
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- 2288-8403(eISSN)
스퍼터링 TiO$_2$ 막의 구조 및 광학적 성질에 미치는 열처리 효과
Thermal Annealing Effects on the Structural and Optical Properties of Sputtered TiO$_2$ Films
초록
The effects of the post-deposition annealing on the structural optical properties of sputtered
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