Characteristics study of the spinning rotor gauges

점성진공계 특성연구

Using trace etching method in this study, we measure the energy of argon ions generated in VEBA System which is composed of Marx Generater and Pulse Forming Line. In this system the electron beam of 240 kV, 30 kA, 60 ns is generated. Argon ions are formed through the electron beam ionization of a gas cloud injected by a fast puff valve. Thus argon ions are accelerated into vacuum drift tube by a virtual cathode and seperated with electron beam, consequently, they heat the trace etching plates made of aluminum thin films. The energy of argon ions are determined by the number of aluminum thin films penetrated by the ions. This experimental value corresponds with the theoretical value.

점성진공계(spinning rotor gauge, SRG)는 고진공영역인 1${\times}$10-5∼100Pa에서 전달표 준기(transfer standard gauge)로 사용되고 있는 진공게이지이다. 제조회사가 각각 Leybold-Heraeus와 MKS회사인 두 개의 SRG에 대해서 질소가스를 사용하여 장기안정성과 적응계수(accommodation coefficient, $sigma$)결정에 영향을 미치는 변수들인 측정압력, 온도, 최 대도달압력(base pressure), 신호분산(signal scattering), 영점(offset)변화에 대한 특성을 10 개월에 걸쳐 조사하였다. 이 결과 장기안정특성 및 입력변수들에 의한 영향이 SRG 고유오 차인 $pm$1.0% 이내에 있음을 확인하였다.