Abstract
We fabricated MIM (Metal-Insulator-Metal) antifuses with Al/a-Si/Mo structure and then examined the I-V characteristics and on-state resistance distribution of antifuses. The leakage current of antifuses is below $1Pa/{\mu}m^2$, and programming voltage lies within 10 to 11 V. After programming, on-resistance of antifuses is mostly 10-20$\Omega$ and 20% of these have above 100$\Omega$. In order to reduce on-resistance and the deviation of this distribution, we tried to inject current again into already programed antifuses (we call this re-programming method). From this method, the resistance of antifuses with above 100Ω can be reduced to below 50$\Omega$. When antifuses are programmed by re-programming method, these antifuses have more uniform and lower on-resistance than programmed with one-pulse.
Al/a-Si:H/Mo 구조의 MIM(Metal-Insulator-Metal) antifuse를 제작하여 antifuse의 I-V 특서을 조사하고, 온저항의 분포를 구하였다. 제작된 antifuse의 누설전류는 1pA/$\mu\textrm{m}^2$이하였고, 프로그래밍 전압은 10~11V 내에 분포하였다. 프로그램 후 온저항은 대부분 10~20 Ω이었고, 20%정도는 100$\Omega$이상의 분포도를 보였다. 이러한 온저항 분포의 편차와 저항값을 줄이기 위해 이미 프로그램된 antifuse에 다시 전류를 주입하는 재 프로그래밍 방법을 시도 하였다. 이 방법을 통하여 100$\Omega$이상의 온저항을 가지는 antifulse를 다시 50$\Omega$이하로 낮출 수 있었다. 재 프로그래밍 방법을 사용한 antifuse는 한번만 프로그래밍 했을 때 보다 더욱 더 균일하고 낮은 온저항 분포를 가졌다.
