초록
DC magnetron sputtering 방법으로 Corning glass 기판 위에 버퍼층을 Fe와 N $i_{81}$$Fe_{19}$로 바꾸어가면서 보자력이 다른 $Co_{90}$ F $e_{10}$와 Co를 이용하여 buffer/CoFe(35 .angs. )/Cu(t .angs. )/Co(35 .angs. )의 형태로 샌드위치 박막을 제작하고 버퍼층 두께 및 바자성층 Cu층 두께, 자성층 두께 변화에 따른 자기저항비 의존성을 조사하였다. 자기저항비와 포화 자기장( $H_{s}$ )은 버퍼층의 두께가 두꺼워짐에 따라 증가하다가 극대치 3%를 보인 후 완만하게 감소하였다. NiFe, Fe 버퍼층을 갖는 시료를 비교한 경우, 각각 CoFe층과 Co층 사이의 결합 자기장( $H_{int}$)은 큰 차이가 없었으나 NiFe 버퍼층을 갖는 시료가 minor 자기저항 곡선의 반가폭 $H_{w}$ 는 감소하고 자기저항(MR) 기울기(slope)와 관련된 field sensitivity(%/Oe)는 향상되었다.다.
Buffer (t $\AA$)/ CoFe(35$\AA$)/Cu (50$\AA$)/Co (35$\AA$) sandwiches prepared by dc magnetron sputtering on Corning glass substrates using the $Co_{90}Fe_{10}$ and Co layers with different coercivities. Dependence of magnetoresistance on the type and thickness of buffer layers, and on the thickness of Cu and the magnetic layers in buffer/ CoFe/Cu /Co sandwiches were investigated. Magnetoresistance ratio and saturation field $H_s$ increased as thickness of the buffer layer becomes thicker, then decreased smoothly after a maximum value. An improved filed sensitivity was realized with the $Ni_{81}Fe_{19}$ buffer layer.
