Sputtering 가공기술의 현황과 미래

The Present States and Prospect of Sputtering Finishing

진공기술을 섬유에 응용하려고 생각은 것은 이미 20여년 전이었으며, 그 이후 Osaka에서 제1회 섬유기술종합기계전이 열렸고, 전시장에는 방적, 연사기, 제직기 등이 눈부실만큼 고속화.자동화되고, water jet, air jet 기계 등 생산성 향상을 위한 장치가 많이 전시되어 있었다. 염색가공기계 중 혁신적인 장치를 찾고 있던 중에 NASA의 기술에 의한 저온 plasma 처리장치와 진공증착장치가 찍힌 1장의 panel 사진이 전시되어 있었다. 둘중 어느 것이나 대기 중에서는 처리할 수 없는 진공이라는 조건하에서 표면에 분자, 원자 level의 박막으로 처리해야하는 것에 강한 인상을 받았다. 그후 Shizuoka 대학 Inagaki 교수의 $\ulcorner$저온 plasma$\lrcorner$ 에 관한 기술 강연을 듣고, plasma의 신비스런 원리에 관심이 끌리게 되었다.