Korean Journal of Optics and Photonics (한국광학회지)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

A study on the improvement of optical, structural properties and environmental stability of ZnS optical thin films prepared by ion-assisted deposition

이온 보조 증착에 의한 ZnS 광학 박막의 광학적, 구조적 특성과 환경적 안정성 개선에 관한 연구

  • Published : 1997.02.01
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Abstract

The optical property, the environmental stability and the crystallization of ZnS thin films prepared by ion-assisted deposition (IAD) were investigated and compared with those of conventional electron-beam deposited thin films. The humidity(R.H. 85%) test and the thermal(15$0^{\circ}C$) show that the IAD films have relatively higher refractive index, smaller extinction coefficient and environmentally more stable than the conventional films. It is believed to originate from the reduced adsorption of moisture which reflect the increased packing density and the improved microstructure by ion bombardment. XRD experiments also confirm that conventionally grown films have an amorphous in comparison with the crystalline structured IAD films.

Ar 이온 보조 증착(IAD)에 의해 제작된 ZnS 박막의 광학적 특성, 환경적 안정성, 결정성을 기존의 보통 박막과 비교 분석하였다. IAD 박막은 보통 박막에 비해 상대적으로 높은 굴절률과 낮은 소멸 계수를 나타내었고, 습도(85%)와 온도(150.deg. C)에 대한 안정성 테스트 결과 수분 감도와 온도 의존성이 현저히 감소되어 이들 환경에 대하여 안정성을 갖는 것으로 나타났다. 이러한 결과는 이온 충격에 의해 박막의 조밀도가 증가되어 내부 미세구조가 개선되므로 대기중의 수분 흡착 감소에 기인한 것으로 분석된다. 또한 X선 회절 실험 결과 보통 박막은 전형적인 박막의 비정질 구조를 나타낸 반면 IAD 박막은 결정질의 구조를 나타내었다.

Keywords

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