Abstract
The amplitude impulse S(x) of an interferometric optical imaging system for λ=193 nm(ArF laser) and NA=0.5 is derived for the pupil with superposed three Gauss pupils $A_1$($\omega$), $A_{2-}$($\omega$) and $A_{2+}$($\omega$). It is shown that FWHM of S(x) can be far less than the Rayleigh's criterion of resolution $\frac{1}{2}{\epsilon}_R$, where ${\epsilon}_R$ is equal to λ=193 nm in the present case of NA=0.5. The three Gauss pupils are provided in an optical system which consists of a Twyman-Green interferometer and an imaging system. The system is proposed and relevent optical components are discussed. Siloxane polymer is suggested for fabrications of amplitude modulation plates. In the present work, we assumed the system is free from aberration and linear. The case that the system has residual aberrations is important, and further work is necessary.
역변환 문제(Inverse Problem)로 접근하여 상면에서의 최초 진폭임펄스 S$_{0}$(x)를 Gauss 함수 g$_{1}$(x), -1/2g$_{2-}$ (x+.DELTA.x$_{1}$), -1/2g$_{2+}$(x-.DELTA.x$_{1}$)를 중첩하여 설정하였다. 이를 Inverse Fourier Transform으로 동함수 A(.omega.)를 구하고, 유한구경 (-.omega.$_{0}$~+.omega.$_{0}$)에서 A(.omega)를 Fourier Transform하여 회절상의 진폭임펄스(Amplitude Impulse) S(x)를 구하였다. .lambda.=193nm, NA=0.5인 광학계에서 S(x)의 반치폭, 즉 1/2(FWHM)을 수치계산하여 49nm를 얻었다. 이는 Rayleigh 한계분해능 .epsilon.$_{R}$의 반, 1/2.epsilon.$_{R}$=96.5nm 보다 작으므로 초분해능 광학계임을 알 수 있다. OTF를 구하여 광학계의 성능을 평가한 결과 고주파영역에서 성능이 우수함을 알 수 있었다. 광학계는 Twyman-Green 간섭계를 포함하는 간섭결상계가 되고, Gauss 진폭변조판은 Polysiloxane Glass Resin을 사용하여 만들 수 있음을 제안하였다.제안하였다.
