반도체 Burn-In 공정용 장비 개발

본고에서는 Burn-In 공정의 구성 및 개발 방향에 대해 기술하고, LG생산기술원에서 지금까지 개발해 왔던 Burn-In 공정용 장비의 구성 및 특징에 대해서 기술하고자 한다.