전기의세계
- Volume 46 Issue 4
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- Pages.28-33
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- 1997
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- 1598-4613(pISSN)
레이저 어블레이션에 의한 강유전체 박막의 제작 및 응용 - 전기재료 기술
Abstract
본고에서는 현재까지 연구되어온 강유전 박막 물질과 이들의 응용분야들을 개관하고, 또한 비교적 최근에 강유전체 박막 형성에 적용된 pulsed laser deposition(PLD)법을 소개하고, 이를 이용한 강유전체 박막의 제작 및 응용에 대한 연구 동향을 고찰하고자 한다.
Keywords