전기의세계

대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
권호 표지

미세가공 기술을 이용한 초소형 각속도계의 연구동향

  • 발행 : 1997.03.01
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초록

본 고에서는 지금까지 보고된 여러 가지 형태의 초소형 각속도센서들을 분석하고 그 제작에 사용되는 여러 가지 기술들을 살펴봄으로서 새롭게 등장하는 초소형 각속도센서 개발 동향을 살펴보고자 한다.

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