Abstract
$Ca_{10}(PO_{4})_{6}(OH)_{2}$ humidity-sensitive devices were fabricated by a solid reaction method, and their humidity-sensitive characteristics were investigated. The impedance decreases with increasing relative humidity, and the good sensitivity is shown in which impedance changes by about $10^{2}\;{\Omega}$ over the region of $30{\sim}90\;%$. Also, It is shown that the humidity sensitivity is stable in temperature variations and long time exposures to the humidity. The sensitivity of the specimens is not affected by a heat treatment, and the hysteresis in one humidity cycle is negligible.
$Ca_{10}(PO_{4})_{6}(OH)_{2}$ 감습소자를 고상반응법을 이용하여 제조하고, 그의 감습특성을 조사하였다. 상대습도가 증가함에 따라 임피던스는 감소하며 $30{\sim}90\;%$의 습도영역에서 임피던스의 변화가 약 $10^{2}\;{\Omega}$ 정도로 우수한 감도를 보임을 알 수 있다. 또한 감습도는 주위 온도변화와 습기에의 장시간 노출에 안정된 특성을 나타내었다. 시편의 열처리에서도 감도의 변화가 없으며, 흡습 및 탈습에 따른 히스테리시스 특성은 거의 나타나지 않았다.