Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)
- Volume 6 Issue 5
- /
- Pages.346-355
- /
- 1997
- /
- 1225-5475(pISSN)
- /
- 2093-7563(eISSN)
Analysis of 6-Beam Accelerometer Using (111) Silicon Wafer by Finite Element Method
(111) 실리콘 웨이퍼를 이용한 6빔 가속도센서의 유한요소법 해석
- Sim, Jun-Hwan (School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Kim, Dong-Kwon (School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Seo, Chang-Taeg (School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Yu, In-Sik (Dept. of Computer Science, Kyungdong College) ;
-
Lee, Jong-Hyun
(School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook Nat'l Univ.)
- 심준환 (경북대학교 전자.전기공학부) ;
- 김동권 (경북대학교 전자.전기공학부) ;
- 서창택 (경북대학교 전자.전기공학부) ;
- 류인식 (경동전문대 전자계산과) ;
-
이종현
(경북대학교 전자.전기공학부)
- Published : 1997.09.30
Abstract
In this paper, the analyses of the stress disturibution and frequency characteristics of silicon microstructures for an accelerometer were performed using the general purpose finite element simulation program, ANSYS. From the analyses, we determined the parameter values of a new 6-beam piezoresistive accelerometer applicable to the accelerometer's specification in airbag system of automobile. Then, the mass paddle radius, beam length, beam width, and beam thickness of the designed accelerometer were
본 논문에서는 범용 유한요소 구조해석 프로그램인 ANSYS를 이용하여 가속도센서의 미세기계구조부의 스트레스 분포와 주파수특성을 해석하였다. 해석된 결과로 부터 자동차의 에어백 시스템에 들어가는 가속도센서의 사양에 적합한 새로운 형태의 6빔 압저항형 가속도센서의 파라미터 값을 설정하였다. 이때, 설계된 가속도 센서의 매스 패드의 반경 및 빔 길이, 빔 폭, 빔 두께의 각 파라미터 값은
Keywords