센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)
- 제6권6호
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- Pages.445-450
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- 1997
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
후막형 암모니아 가스 센서의 제조 및 가스 감응 특성
Fabrication and Characterization of Thick Film Ammonia Gas Sensor
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윤동현
(LG 종합 기술원, 소자재료 연구소) ;
- 권철한 (LG 종합 기술원, 소자재료 연구소) ;
- 홍형기 (LG 종합 기술원, 소자재료 연구소) ;
- 김승렬 (LG 종합 기술원, 소자재료 연구소) ;
- 이규정 (LG 종합 기술원, 소자재료 연구소)
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Yun, Dong-Hyun
(LG Corporate Institute of Technology, Devices and Materials Laboratory) ;
- Kwon, Chul-Han (LG Corporate Institute of Technology, Devices and Materials Laboratory) ;
- Hong, Hyung-Ki (LG Corporate Institute of Technology, Devices and Materials Laboratory) ;
- Kim, Seung-Ryeol (LG Corporate Institute of Technology, Devices and Materials Laboratory) ;
- Lee, Kyu-Chung (LG Corporate Institute of Technology, Devices and Materials Laboratory)
- 발행 : 1997.11.30
초록
후막형 암모니아 가스센서를 제조하여 가스 감지특성을 조사하였다. 저농도의 암모니아 가스에 감도가 우수한 산화물 반도체 감지물질은
An ammonia gas sensor with high sensitivity using thick-film technology were fabricated and examined. The material for sensing the ammonia gas was the mixture of oxide semiconductor,
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