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한국고분자학회
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한국고분자학회지:고분자과학과기술
(Polymer Science and Technology)
제7권6호
/
Pages.716-724
/
1996
/
1225-0260(pISSN)
/
2586-1476(eISSN)
한국고분자학회 (The Polymer Society of Korea)
반도체용 화학재료 및 패턴형성 공정
Chemical Materials and Lithography Process for Semiconductor
최상준
(삼성전자반도체연구소) ;
박춘근
(삼성전자반도체연구소)
Choi, Sang Jun
;
Park, Chun Geun
발행 : 1996.12.30
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