Journal of Korean Ophthalmic Optics Society (한국안광학회지)
- Volume 1 Issue 1
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- Pages.23-28
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- 1996
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- 1226-5012(pISSN)
The Characteristics of Diamond-like Carbon Films Deposited by Low Frequency(60Hz) Plasma CVD at Room Temperature for Optical lens
광학렌즈를 위한 저주파(60Hz) 플라즈마 CVD로 실온에서 제작한 다이아몬드성 탄소 박막의 특성
- Kang, Sung Soo (Department of Ocular Optics, Shinil Junior College) ;
- Lee, Won Jin (Department of Ocular Optics, Shinil Junior College) ;
- Sung, Duk Yong (Department of Ocular Optics, Shinil Junior College)
- Received : 1996.04.23
- Published : 1996.05.31
Abstract
Hydrogenated amorphous carbon films were fabricated by low frequency(60Hz) Plasma enhanced Chemical vapor deposition(LF-PECVD) at room temperature. The LF_PECVD has a couple of advantages as follows: cheap, and the employment of low power density makes the damage of samples small. The a-C:H films deposited in this work were highly transparent(99%), highly resistance(109-1011
실온에서 60Hz 저주파 플라즈마 CVD로 수소화된 비정질 탄소(a-C:H) 박막을 제조하였다. 이 방법으로 형성된 박막은 상용 주파수인 전원을 사용하기 때문에 종래의 다른 방법에 비하여 실험이 간단하고 저렴하게 제작되며, 적은 전력밀도(0.03~0.08 W/cm2를 사용하므로 시료의 손상이 작은 장정들을 가지고 있다. 본 연구에서 제작한 a-C:H 박막은 높은 투명도(95%), 높은 저항성(109~1011
Keywords