참고문헌
- Science v.246 no.1400 J.F.Scott.;C.A.Araujo
- Ferroelectrics v.108 no.37 S.K.Dey.;R.Zuleeg
- J.Vac.Sci.Technol v.9 no.414 G.H.Haertling
- J.Appl.Phys v.68 H.MDuiker.;P.D.Beale.;J.F.Scott.;C.A.Araujo.;B.M.Melnick.;J.D.Cuchiaro.;L.D.McMillan
- J.Appl.Phys v.33 no.3996 T.Mihara.;H.Watanabe.;C.A.Araujo
- J.Appl.Phys v.32 no.4168 T.Mihara.;H.Watanabe.;C.A.Araujo
- Appl.Phys v.68 no.5 H.N.Al-Shareef.;D.Dimos.;T.J.Voyle.;W.L.Warren.;B.A.Tuttle
- J.Appl.Phys v.78 no.8 J.J.Lee.;C.L.Thio.;S.B.Desu
- Jpn.J.Appl.Phys v.34 no.5146 H.Tabata.;H.Tanaka.;T.Kawai
- Appl.Phys.Lett v.67 no.4 R.Dat.;J.K.Lee.;O.Auciello.;A.I.Kongon
- Jpn.J.Appl.Phys v.34 no.5096 T.Atsuki.;N.Soyama.;T.Yonezawa.;K.Ogi
- Jpn.J.Appl.Phys v.34 no.5240 H.Watanabe.;T.Mihare.;H.Yoshimori.;C.A.Paz de Araujo
- Appl.Phys.Lett. v.68 no.5 T.LI.;Y.Zhu.;S.B.Desu.;C-H.Peng.;M.Nagata
- Noyes Pub(2nd) v.302 Handbook of Deposition Technologies for Films and Coating R.F.Bunshah
- International Patent Application v.WO94 no.10702 H.Yoshimori.;H.Watanbe.;C.A.Paz.de Arauzo.;L.D.McMillan.;J.D.Cuchiaro.;M.C.Scott
- Mat.Res.Soc.Symp.Proc v.361 no.447 S.D.Bernstein.;T.Y.Wong.;S.R.Collins.;Yanina Kisler.;R.W.Tustison