한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

  • 제6권1호
  • /
  • Pages.22-28
  • /
  • 1996
  • /
  • 1225-0562(pISSN)
  • /
  • 2287-7258(eISSN)
한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Ni-Zn 페라이트 박막을 이용한 박막 인덕터의 제조

Fabrication of Thin Film Inductors Using Ni-Zn Ferrite Core

  • 김민흥 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 여환군 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 황기현 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 이대형 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 윤의준 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 김형준 (서울대학교 무기재료공학과)
  • Kim, Min-Heung (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University) ;
  • Yeo, Hwan-Gun (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University) ;
  • Hwang, Gi-Hyeon (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University) ;
  • Lee, Dae-Hyeong (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University) ;
  • Yun, Ui-Jun (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University) ;
  • Kim, Hyeong-Jun (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University)
  • 발행 : 1996.01.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

고주파 이동통신의 효용이 증가할수록 고주파 회로에 들어가는 부품들의 소형화가 중요한 과제로 대두되고 있다. 인덕터는 전자회로에 이용되는 주요 부품의 하나이며, 현재 교주파용 소형 인덕터를 박막화하려는 시도가 진행중이다. 본 연구에서 열산화시킨 Si(100)기판위에 성공적으로 박막형 인덕터를 제조하였다. Core 물질로는 ion beam sputtering 법으로 증착한 Ni-Zn 페라이트와 PECVD법으로 증착한 SiO2를 사용하였다. 고온산화분위기의 박막 증착과정을 고려하여 귀금속류인 Au를 전극으로 이용하였으며, life-off법으로 미세회로를 구현하였다. 상하부 전극의 안정적인 연결을 위하여 2차 전극배선 전에 via를 채워넣었다. 제조된 박막 인덕터의 고주파 특성은 network analyzer로 측정한 후 HP사의 Mecrowave Design System으로 분석하였다.

키워드

참고문헌

  1. IEEE Trans. Magn. v.20 K.Kawabe;H.Koyama;K.Shirac
  2. IEEE Trans. Magn. v.26 K.Yamasawa;K.Maruyama;I.Hirohama;P.P.Biringer
  3. IEEE Trans. Magn. v.26 K.Shirakawa;S.Ishibashi;Y.Kobayashi;F.Takeda;K.Murakami
  4. IEEE Trans. Magn. v.MAG-22 H.MAtsuki;K.Murakami;T.Yamamoto
  5. IEEE Trans. Power Elec. v.4 A.F.Goldberg;J.G.Kassakian;M.F.Schlecht
  6. J. Appl. Phys. v.64 I.Zaquine;H.Benasisi;J.C.Mage
  7. J. Mater. Res. v.9 H.S.Cho;M.H.Kim;H.J.Kim
  8. IEEE Trans. Mag. v.27 M.Yamaguchi;M.Matsumoto;H.Ohzoki;K.I.Arai
  9. 한국재료학회지 v.5 조해석;하상기;이대형;홍석경;양기덕;김형준;김경용;유병두
  10. J. Electrochem. Soc. v.116 M.Hatzakis
  11. IBM J. Res. Dev. v.24 M.Hatzakis;B.J.Canavello;J.M.Shaw
  12. IBM J. Res. Dev. v.26 G.G.Collins;C.W.Halsted
  13. Phys. Stat. Sol. v.A55 Y.Kawai;M.Tanabe;T.Ogawa
  14. J. Chem. Phys. v.23 L.G. van Uitert
  15. Magnetism and Metallurgy of Soft Magnetic Materials C.W.Chen