Korean Journal of Materials Research (한국재료학회지)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Fabrication of Thin Film Inductors Using Ni-Zn Ferrite Core

Ni-Zn 페라이트 박막을 이용한 박막 인덕터의 제조

  • Kim, Min-Heung (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University) ;
  • Yeo, Hwan-Gun (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University) ;
  • Hwang, Gi-Hyeon (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University) ;
  • Lee, Dae-Hyeong (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University) ;
  • Yun, Ui-Jun (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University) ;
  • Kim, Hyeong-Jun (Dept.of Inorganic Materials Engineering,Seoul National University)
  • 김민흥 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 여환군 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 황기현 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 이대형 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 윤의준 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 김형준 (서울대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1996.01.01
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Abstract

고주파 이동통신의 효용이 증가할수록 고주파 회로에 들어가는 부품들의 소형화가 중요한 과제로 대두되고 있다. 인덕터는 전자회로에 이용되는 주요 부품의 하나이며, 현재 교주파용 소형 인덕터를 박막화하려는 시도가 진행중이다. 본 연구에서 열산화시킨 Si(100)기판위에 성공적으로 박막형 인덕터를 제조하였다. Core 물질로는 ion beam sputtering 법으로 증착한 Ni-Zn 페라이트와 PECVD법으로 증착한 SiO2를 사용하였다. 고온산화분위기의 박막 증착과정을 고려하여 귀금속류인 Au를 전극으로 이용하였으며, life-off법으로 미세회로를 구현하였다. 상하부 전극의 안정적인 연결을 위하여 2차 전극배선 전에 via를 채워넣었다. 제조된 박막 인덕터의 고주파 특성은 network analyzer로 측정한 후 HP사의 Mecrowave Design System으로 분석하였다.

Keywords

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