E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제9권3호
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- Pages.240-245
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- 1996
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
CFC 대체물질을 이용한 GaAs의 레이저 유도 에칭
Laser-induced etching of GaAs with CFC alternatives
- 발행 : 1996.03.01
초록
Non-ozone layer destructive Chlorofluorocarbon(CFC) altematives(CHCIF