한국자기학회지 (Journal of the Korean Magnetics Society)
- 제6권2호
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- Pages.98-105
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- 1996
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- 1598-5385(pISSN)
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- 2233-6648(eISSN)
DC 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 NiFe 박막에서 Ar 압력이 자기 및 자기저항 성질에 미치는 영향
The Effects of Ar Gas Pressure on Thin Films Prepared by dc Magnetron Sputtering
초록
스퍼터링 방법으로 제작된 NiFe 박막에서 Ar 압력이 자기 및 자기저항 성질에 미치는 여향을 조사하였다. 타겟으로는 Ni
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