마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제3권2호
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- Pages.39-50
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- 1996
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
Alumina Green Sheet의 동시소성용 텅스텐 페이스트 제조 및 금속 접합에 관한 연구
A Study on Tungsten Paste for Metallization and Cofiring of an Alumina Green Sheet
초록
본 연구에선 주어진 조성의 알루미나 green sheet에 대하여 텅스텐의 입경 및 산화 물의 조성을 변화시키므로써 수축률을 제어하여 camber를최소화하여 결합강도를 최대로 하 는 텅스텐 페스트조성을 찾아내는 것을 목적으로 하였다. 본 실험에서 사용한 텅스텐 분말 의 입경은 0.35
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