마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제3권2호
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- Pages.27-38
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- 1996
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
Fluorine 함유 Glass Ceramics를 이용한 저온 소결기판 제조 및 기판의 특성 평가
Manufacture and Characterization of Low Firing Temperatur Substrate using Glass Ceramics with Fluorine
초록
Lithium fluorhectorite 결정상을 함유한 glass ceramics 분말의 형성과 제조된 glass ceramics 분말을 이용한 저온 소결기판의 특성평가를 하였다. Li2O-MgO-MgF2-SiO2 계 유 리로 핵형성 및 결정 성장을 실시하여 lithium fluorhectorite 결정상을 지닌 glass ceramics 를 제조하였다. 유리시편의 핵형성 온도는 46
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