Abstract
For the investigation of the influence of microstructure of optical thin films on the in-plane thermal diffusivity of glass substrate coated by that films, we constructed the AC calorimeter which uses argon-ion laser as a thermal source and measured several kinds of ZnS optical thin films which prepared by the changing of thermal evaporation speed such as 5$\AA$/s, 10$\AA$/s, 20$\AA$/s, 40$\AA$/s, 60$\AA$/s. The result showed that the thermal diffusivity decreases as the temperature increases. Also, when the evaporation speed is 20$\AA$/s, the thermal diffusivity has maximum value, and the variation of the thermal diffusivities are 27% at maximum.
광학박막의 미세구조가 그것이 증착된 유리기판의 열확산도에 미치는 영향을 조사하기 위하여 Ar-ion레이저를 광원으로 하는 교류열량계를 직접 제작하여 광학박막으로 널리 쓰이는 ZnS박막의 증착속도를 각각 5.angs./s, 10.angs./s, 20.angs./s, 40.angs./s으로 하여 유리기판 위에 제작한 후 시편의 면에 평행한 방향의 열확산도를 측정한 결과 시편의 온도가 증가할수록 열확산도는 감소하였고 증착속도가 20.angs./s일 때 열확산도가 가장 크며 증착속도에 따라 최대 약 27%의 차이를 나타내었다.
