Fabrication and Characterization of Lateral Vacuum Magnetic Sensor

수평 구조의 진공 자기 센서의 제작 및 특성

We have fabricated the vacuum magnetic sensor with a lateral field emitter arrays constructed on n-Si substrate, and investigated its magnetic characteristics. The device consists of 100 field-emitter tips with a $10{\mu}m$ pitch, gate, and split-anodes which are laterally structured. The electron-emission characteristics from the emitter followed the Fowler-Nordheim tunnelling theory. The sensor has good linear characteristics and high sensitivity of 825 %/T.

N 형의 실리콘 기판위에 수평형의 전계 방출 배열 구조를 갖는 진공 자기 센서를 제작하고 그의 자기적 특성을 측정하였다. 소자는 수평으로 구성된 팁 사이의 간격이 $10\;{\mu}m$인 100 개의 전계 방출 팁, 게이트 그리고 분리된 양극 구조로 이루어져 있다. 에미터 전극으로부터의 전자 방출 특성은 Fowler-Nordheim 턴널링 이론을 따른다. 제작된 센서는 좋은 직선 특성과 825 %/T 의 높은 감도를 보여주었다.