센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)
- 제5권5호
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- Pages.79-84
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- 1996
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
GaAs 기판위에 성장된 단결정 AlAs층의 선택적 산화 및 XPS (X-ray photonelectron spectroscopy) 분석
Selective Oxidation of Single Crystalline AlAs layer on GaAs substrate and XPS(X-ray photoelectron spectroscopy) Analysis
- 이석헌 (경북대학교 전자.전기공학부) ;
- 이용수 (국방과학연구소) ;
- 태흥식 (경북대학교 전자.전기공학부) ;
-
이용현
(경북대학교 전자.전기공학부) ;
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이정희
(경북대학교 전자.전기공학부)
- Lee, Suk-Hun (School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook National Uni.) ;
- Lee, Young-Soo (Agency for Defense Development) ;
- Tae, Heung-Sik (School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook National Uni.) ;
-
Lee, Young-Hyun
(School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook National Uni.) ;
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Lee, Jung-Hee
(School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook National Uni.)
- 발행 : 1996.09.30
초록
A
키워드