센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)

  • 제5권5호
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  • Pages.47-54
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  • 1996
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  • 1225-5475(pISSN)
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  • 2093-7563(eISSN)
한국센서학회 (The Korean Sensors Society)
권호 표지

$SnO_{2}$과 Pt를 첨가한 $WO_{3}$후막센서의 제조 및 NOx감응 특성

Fabrication and NOx sensing Characteristics of $WO_{3}$ doped with $SnO_{2}$ and Pt Thick Film Devices

  • Lee, D.S. (Dept. of Electronics & Electrical Eng., KyungPook Nat. Univ.) ;
  • Han, S.D. (Korea Institute of Energy Research) ;
  • Park, K.B. (Korea Institute of Energy Research) ;
  • Sim, K.S. (Korea Institute of Energy Research) ;
  • Lee, D.D. (Dept. of Electronics & Electrical Eng., KyungPook Nat. Univ.) ;
  • Son, Y.M. (Korea Institute of Energy Research)
  • 발행 : 1996.09.30
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초록

$WO_{3}$모물질에 Pt와 $SnO_{2}$ 활성촉매를 첨가하여 수 ppm정도의 NOx를 감지할 수 있는 후막형 NOx센서를 제조하였다. 센서의 최대 감도는 $250^{\circ}C$정도에서 얻을 수 있었으나, 회복속도를 고려하여 $330^{\circ}C$에서 특성실험을 실시하였다. 기존의 $WO_{3}$를 사용한 것보다 감도, 반응 및 회복 속도가 개선되었고 또한 뛰어난 선택성과 기체흐름에 대한 안정성을 보여주었다. 농도변화에 대한 선형성이 우수하게 나타남으로 계측기에 응용가능성을 보여주었다.

Highly sensitive $WO_{3}$ doped with $SnO_{2}$ and Pt thick-film sensors for NOx gas were fabricated. The sensors had a maximum sensitivity at operating temperature of $250^{\circ}C$, but the optimum operation temperature, considering recovery desorption time, was at $330^{\circ}C$. These sensors improved sensitivity, response and recovery time, selectivity and stability, as compared to $WO_{3}$ sensors. The good linearity of sensitivity as a function of the gas concentration exhibited the possibility to be used for concentration meter.

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