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Air Cleaning Technology
(공기청정기술)
Volume 8 Issue 4 Serial No. 31
/
Pages.46-62
/
1995
/
1598-3994(pISSN)
Korean Air Cleaning Association (한국공기청정협회)
클린룸공정에서의 정전기 측정방법
이재근
(부산대학교 기계공학부) ;
박경덕
(부산대학교 기계공학부)
Published : 1995.12.31
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