Applied Microscopy
- Volume 25 Issue 3
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- Pages.75-81
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- 1995
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- 2287-5123(pISSN)
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- 2287-4445(eISSN)
Microstructure Characterization of Ternary ZnSSe/GaAs Epilayer Grown by MBE
MBE로 성장시킨 3원계 ZnSSe/GaAs 에피층의 미세구조 특성
- Lee, Hwack-Joo (Korea Research Institute of Standards and Science) ;
- Ryu, Hyun (Korea Research Institute of Standards and Science) ;
- Park, Hae-Sung (Samsung Advanced Institute of Technology) ;
- Kim, Tae-Il (Samsung Advanced Institute of Technology)
- 이확주 (한국 표준과학연구원 미세조직연구그룹) ;
- 류현 (한국 표준과학연구원 미세조직연구그룹) ;
- 박해성 (삼성종합기술원 광반도체 연구실) ;
- 김태일 (삼성종합기술원 광반도체 연구실)
- Published : 1995.09.01
Abstract
The microstructural characterization of ternary
이상과 같은 실험에서 다음과 같은 사실을 요약할 수 있다. 1) ZnSSe/GaAs 에피층에는 많은 양의 적층결함과 전위 등의 결정결함이 존재하고 이들은 표면부 보다는 계면부에 더 많이 존재한다. 그러나 에피층은 기판과 pseudomorphic 성장을 이루고 있다. 2) ZnSSe/GaAs 계면에는 5nm 크기의 높이차가 나는 굴곡이 존재하며 ZnSe 버퍼 층에 관계없이 적층결함이 존재하고, 에피층 결정이 약간 기울어져서 므와레 줄무늬 패턴도 존재한다. 3) ZnSSe/GaAs 계면에는 성장 중에 S의 침투로 인한 <111>방향으로 피트가 형성되었음이 관찰되었고 이는 결함 생성 소스로 작용한다 4) 15nm 높이차가 나는 계면이 발견되었으나 기판과 정합을 이루고 있고 주변에는 적층결함도 존재하지 않는다. 그러나 미세한 므와레 줄무의형태가 존재하였다.