한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)
- 제4권4호
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- Pages.413-416
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- 1995
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- 1225-8822(pISSN)
ZnO-SAW 필터의 주파수 응답
Frequence Response of ZnO-SAW Filter
초록
고주파 마그네트론 스펏터링법을 이용하여 ZnO막을 제조하고 유리기판 위에 ZnO-SAW필터를 제작하였다. ZnO막의 제조 조건은 고주파 전력 150W, 기판온도
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