한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)
- 제4권4호
- /
- Pages.373-379
- /
- 1995
- /
- 1225-8822(pISSN)
분광 타원해석법에 의한 SIMOX 층구조 분석
Spectro-ellipsometric Analysis of SIMOX Structures
초록
200keV의 에너지로 산소 이온들을 주입한 후 열처리하여 만든 SIMOX의 층구조를 분광 타원해석법을 이용하여 비파괴적으로 분석하여, 약
키워드