Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 4 Issue 1
- /
- Pages.85-90
- /
- 1995
- /
- 1225-8822(pISSN)
Electrical Properties of B-doped ZnO Thin Films deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
플라즈마 화학기상 증착법에 의해 증착된 B이 첨가된 ZnO 박막의 전기적 특성
Abstract
본 연구에서는 투명 전극으로의 응용을 목적으로 PECVD법에 의해 증착된 B이 첨가된 ZnO 박막의 전기 및 광학적 특성을 살펴보았다. B을 첨가하지 않은 ZnO 박막은 비저항이 수
Keywords