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한국진공학회
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한국진공학회지
(Journal of the Korean Vacuum Society)
제4권1호
/
Pages.60-66
/
1995
/
1225-8822(pISSN)
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
극소전자 디바이스를 위한 박막배선재료 개선에 관한 연구
A Study on the Improvement of Thin Film Interconnection Materials for Microelectronic Devices
양인철
(광운대학교 전자재료공학과) ;
김진영
(광운대학교 전자재료공학과)
발행 : 1995.03.01
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