한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

극소전자 디바이스를 위한 박막배선재료 개선에 관한 연구

A Study on the Improvement of Thin Film Interconnection Materials for Microelectronic Devices

  • 양인철 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 김진영 (광운대학교 전자재료공학과)
  • 발행 : 1995.03.01
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