한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)
- 제4권1호
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- Pages.46-50
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- 1995
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- 1225-8822(pISSN)
$alpha-Si$ 의 contact hole 수의 증가에 따른 MIM antifuse의 전기적 특성
Electrical characteristics of MIM antifuse with contact hole numbers of $alpha-Si$ .
초록
물성을 달리한
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