자원리싸이클링 (Resources Recycling)
- 제4권3호
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- Pages.10-18
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- 1995
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- 2765-3439(pISSN)
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- 2765-3447(eISSN)
열중량분석법에 의하 GaAs Scrap의 열분해거동
Thermo-decomposition behavior of GaAs scrap by thermogravimetry
초록
GaAs wafer의 Scrap은 고품위이고 반도체 제조공정중의 여러 단계에서 발생하는 지속적인 자원이므로, 이로부터 Ga, As의 분리 회수에 관한 기술개발은 자원의 Recycling 측면에서 대단히 중요한 의미를 지니고 있다. 특히 유독성 물질인 As에 의한 환경오염 방지의 측면에서도 GaAs Scrap으로부터 Ga, As의 분리 회수는 필연적이라 할 수 있다. 본 연구에서는 진공 분위기하(2~2.5
Recycling of GaAs scrap which occurs durmg the manufachre of GaAs waters is. therefore, required to solve the environmentalproblcrns caused by arsenic metal and to reutilize gallium which is a expensive metal. A thema-analyticalstudy (thermogravimeg. and derivative thermogravimetry) tor the evaporation behavior of Fa, As from Gak\ulcorner scrap powdersat vacuum atmosphere(2-2.5X 10'mmHg); was primarily performed to identi j the possibility of Ga extraction. Until79YC, the weight change of G d s porvder does not take place, at 800-970C range GaAs vaporizes as the GaAs compound,and over 1WO"C it decamposes mto Ga and As md then As vaporizes rapidly as a result of the difference af vaporprcssure for Ga and As, liquid Ga rcmains eventually.mains eventually.
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