Journal of the Microelectronics and Packaging Society (마이크로전자및패키징학회지)

The Korean Microelectronics and Packaging Society (한국마이크로전자및패키징학회)
권호 표지

Preparation and Properties of Ru based Thick Film Resistors

Ru 계 후막저항체의 제조 및 특성 연구

  • 김창은 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 1995.05.01

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Abstract

RuO2 함량을 각각 달리한 pyrochlore 구조의 Pb2Ru2O6.5분말을 제조하여 이 분말과 유기 vehicle 유기용매를 혼합하여 저항 페이스트를 제조한후 인쇄, 소결과정을 거쳐 전반적 인 물성을 분석하였고 두 종류의 페이스트에 TCR보정용 첨가제로서 ZrO2를 첨가한 경우 처가량에 따라 저항값은 크게 변화하였으나 TCR 은 약간의 변화를 보였으며 Nb2O5의 경우 저항값이 크게 증가하였으며 TCR은 2wt%까지 첨가시 매우 안정적인 값을 나타내었다. 고 정항의 경우 CuO의 첨가시 저항값이 크게 감소 하였으며 TCR은 첨가량에 따라 증가하였 으나 3wt%이상 첨가시 저항체 표면이 심하게 거칠어지는 결과를 보였다.

Keywords