Abstract
The low loss single-mode $Al_{0.042}Ga_{0.958}As/GaAs/Al_{0.042}Ga_{0.958}As$ strip-loaded waveguides had been designed using an effective index method and fabricated using a MOCVD technique and chemical wet etching method. The propagation loss and facet reflectivity were measured by the Fabry-Perot resonance method and sequential cleaving experiment at $1.31{\mu}m$ wavelength. As a result, the propagation loss is as low as 0.62 dB/cm and the facet refiectivity(R) equals to 0.299 for straight waveguides with width $ w=4.1{\mu}m$..
저손실의 단일모드 $Al_{0.042}Ga_{0.958}As/GaAs/Al_{0.042}Ga_{0.958}As$ strip-loaded 도파로들이 유효굴절률 방법으로 설계되고 MOCVD 성장기법과 화학적인 습식 식각방법으로 제작되었다. 제작된 도파로의 전파손실과 도파로 단면의 반사율은 $1.31{\mu}m$ 파장에서 Fabry-Perot 공명방법과 연속적인 절단 실험을 이용하여 측정되었다. 실험결과 폭이 $ w=4.1{\mu}m$인 직선 도파로에 대해 전파손실은 0.62dB/cm로 작았으며 도파로의 반사율은 0.299가 되었다.