Loss single mode $Al_{0.042}Ga_{0.958}As/GaAs/Al_{0.042}Ga_{0.958}As$ strip-loaded optical waveguides

저손실의 단일모드 $Al_{0.042}Ga_{0.958}As/GaAs/Al_{0.042}Ga_{0.958}As$ strip-loaded 광 도파로

  • 변영태 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
  • 박경현 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
  • 김선호 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
  • 최상삼 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
  • 임동건 (고려대학교 물리학과)
  • Published : 1995.06.01

Abstract

The low loss single-mode $Al_{0.042}Ga_{0.958}As/GaAs/Al_{0.042}Ga_{0.958}As$ strip-loaded waveguides had been designed using an effective index method and fabricated using a MOCVD technique and chemical wet etching method. The propagation loss and facet reflectivity were measured by the Fabry-Perot resonance method and sequential cleaving experiment at $1.31{\mu}m$ wavelength. As a result, the propagation loss is as low as 0.62 dB/cm and the facet refiectivity(R) equals to 0.299 for straight waveguides with width $ w=4.1{\mu}m$..

저손실의 단일모드 $Al_{0.042}Ga_{0.958}As/GaAs/Al_{0.042}Ga_{0.958}As$ strip-loaded 도파로들이 유효굴절률 방법으로 설계되고 MOCVD 성장기법과 화학적인 습식 식각방법으로 제작되었다. 제작된 도파로의 전파손실과 도파로 단면의 반사율은 $1.31{\mu}m$ 파장에서 Fabry-Perot 공명방법과 연속적인 절단 실험을 이용하여 측정되었다. 실험결과 폭이 $ w=4.1{\mu}m$인 직선 도파로에 대해 전파손실은 0.62dB/cm로 작았으며 도파로의 반사율은 0.299가 되었다.

Keywords

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