Abstract
To investigate the diffraction property of the Bessel beam for defocus which acts CFAP (Combined Filter of Amplitude and Phase), we calculated numerically the intensity, the radius of central spot, and the optical transfer function for the number of node of the Bessel beam when an optical system has an aberration-free or a spherical aberration. The Bessel beam has larger the maximum intensity and the OTF value for an optical system with a spherical aberration than that with an aberrationfree. Particularly, the OTF value at the point of maximum intensity for $W_{40}=3\lambda$is higher for the Bessel beam than for the Clear aperture. From these results, we know that the Bessel beam has the compensating effect. The Bessel beam also has the radius of central spot having a superresolution. We will useful for the fabrication of semiconductor device and the optical recording system using these effects.ffects.
본 연구에서는 CFAP(Combined Filter of Amplitude and Phase)형태의 진폭과 위상이 변조된 Bessel beam의 회절 특성을 조사하기 위해 무수차 광학계와 구면수차가 포함된 광학계 각각에 대한 defocus에 따른 강도와 중심 스폿의 반경 변화, 그리고 Optical Transfer Function(OTF) 변화를 Bessel beam의 마디 수를 증가시키면서 계산하였다. Bessel beam은 구면수차를 포함한 광학계에서의 최대 강도 값과 최대 강도 점에서의 OFT값이 무수차 광학계의 경우보다 크게 나타나는 구면수차 보정효과를 보였으며 특히 구면수차가 3.lambda. 포함된 광학계에서의 OTF 값은 Clear aperture의 경우보다 높은 OTF값을 보였다. 또한 defocus에 따른 중심 스폿의 반경은 Airy disk의 반경보다 훨씬 작게 나타나는 영역이 있음을 알 수 있었으며 이러한 결과들은 고집적 반도체 소자 제작을 비롯한 고밀도 광 기록 장치에 이용 가능할 것이다.