$TiO_{2}-V_{2}O_{5}$ Thin Film Type Humidity Sensor Fabricated by Sol-Gel Method

Sol-Gel법에 의한 $TiO_{2}-V_{2}O_{5}$ 박막형 습도센서

In this paper, $TiO_{2}-V_{2}O_{5}$ humidity sensors are fabricated by Sol-Gel method. For the establishment of optimum processing condition which is good humidity sensitive characteristics for specimens, their microstructures and crystalline-structures are analysed. Grain size increases with substitution rate of $V^{5+}$ on $Ti^{4+}$ site. From the analysis of XRD, $V^{5+}$ peak can't confirm with $V_{2}O_{5}$ rate. Their humidity sensitive characteristics is good at 1mol% of $V_{2}O_{5}$ rate and heat-treated at $700^{\circ}C$. The capacitance of specimens decreases with frequency.

본 논문은 졸겔법에 의해 $TiO_{2}-V_{2}O_{5}$ 습도센서를 제조하고, 미세구조 및 결정구조를 분석하여 습도감지특성이 뛰어난 최적 제조조건을 찾았다. 그레인 크기는 $Ti^{4+}$ 사이트에 치환되는 $V^{5+}$비에 비례하여 증가하였다. X-선 회절분석 결과, $V_{2}O_{5}$비에 관계없이 $V^{5+}$피크는 확인할 수 없었다. 실험결과로부터 $V_{2}O_{5}$비가 1mol%, 열처리온도가 $700^{\circ}C$일때 가장 우수한 습도감지특성을 나타내었다. 시편의 정전용량은 주파수가 증가할수록 감소하였다.