Construction of UHV Scanning Tunneling Microscope

초고진공용 주사형 터널링 현미경의 제작

A scanning tunneling microscope has been built, which can resolve atomic arrangements of conductors and semiconductors in ultra high vacuum below $10^{-11}$ Torr. Its background and operational principles are reviewed and the guide lines in building the scanning tunneling microscope are shown. The results of measurements for highly oriented pyrolytic graphite and Si(111) surface are presented.

진공도가 $10^{-11}$ Torr 수준의 초고진공 상태에서 작동되고 실제공간에서 개별원자를 구별할 수 있는 주사형 터널링 현미경을 제작하였다. 주사형 터널링 현미경의 배경 및 작동원리와 제작에 있어서의 제문제점들을 서술하고 흑연결정과 실리콘에 대해서 관찰한 결과를 보고한다.