Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

A Study on the Deposition Mechanism in PECVD Diamondlike Carbon Thin Films

PECVD 에 의한 다이아몬드성 탄소박막의 증착기구에 관한 연구

  • Kim, Han (Department of metallurgical Engineering, Seoul National University) ;
  • Joo, Seung-Ki (Department of metallurgical Engineering, Seoul National University)
  • 김한 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 금속공학과)
  • Published : 1994.12.01
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Abstract

메탄을 원료가스로 하여 PECVD에 의해 다이아몬드성 탄소(DLC) 박막을 형성하였으며 이때 인 가전력의 크기 및 주파수 그리고 보조가스의 종류가 optical band gap의 크기에 미치는 영향에 대학여 연구하였다. DLC 박막의 optical band gap 은 증착되는 이온의 에너지가 증가할수록 감하였으며 불활성 기체를 보조가스로 사용하는 경우 인가전력에 따른 optical band gap의 크기가 큰폭으로 감소하였다. 소 소를 보조가스로 사용한 경우는 높은 인가전력(100W 이상)에서 optical band gap이 증가하는 것으로 밝 혀졌으며 본 연구에서 제안된 증착 기수의 모델에 의해 적절한 설명이 가능하였다.

Keywords