한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

기체분자의 MAC를 이용한 압력게이지의 제작 및 특성 평가 연구

The Properties of Newly Designed Pressure Gauge using MAC of Gas Molecules

  • 발행 : 1994.12.01
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초록

본 연구에서는 LRDC 트랜스듀서를 장착한 변형된 회전 진자를 제작하여 1$\times$10-2 Torr에서 1-10-5 Torr 사이의 Ar 압력을 측정하였다. 비구동 회전 진자의 진폭은 기체 분자와의 충돌에 의한 감 쇄가 일어난다. 회전 진자의 감쇄에 의한 특성 함수를 측정하여 본 연구팀은 일반적인 진공 측정 장비 로는 측정이 어려운 1-10-5 Torr에서 1-10-5 Torr 사이의 Ar 압력을 정확하게 측정할 수 있었다.

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