Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Diagnosis of uhv Application System by Quadrupole Mass Spectrometer

사중극 질량분석기에 의한 초고진공 응용시스템 진단

  • 임재영 (한국표준과학연구원 소재특성평가센터) ;
  • 이철로 (한국표준과학연구원 소재특성평가센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 소재특성평 가센터) ;
  • 노삼규 (한국표준과학연구원 소재특성평가센터) ;
  • 이연환 (동국대학교 인문대 기초과정)
  • Published : 1994.06.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

박막성장을 위한 초고진공 응용시스템을 제작하고 이것의 특성을 사중극질량분석계로 측정하였 다. 초고진공 시스템을 박막성장에 활용하기 위해서는 챔버 뿐만 아니라 펌프, 이온게이지, 전자총 등도 베이킹이 요구되었다. 또한 이온게이지와 전자총은 적어도 박막성장 20분전에 탈가스를 하여야함을 알 았다. 이 시스템으로 달성된 진공도는 7x10-11 torr이었다.

Keywords