Abstract
Two kinds of humidity sensor are made, one by anodizing pure aluminum and the other by evaporation Sn02 on the anodized pure alumia film, and their electrical characteristics are investigated in various humidity atmosphere. The change of surface resistance with humidity of $AI_2O_3/AI$ and $SnO_2-AI_2O_3/Al$ sensors are found to be $1.40 \times 10^{-2}\Omega$/RH and $1.56 \times 10^{-2}\Omega$/RH, respectively. The hysteresis phenomena associated with the irreversibility of surface resistance-humidity is less in $SnO_2-AI_2O_3/Al$ sensor than in $AI_2O_3/AI$. It is concluded that $SnO_2-AI_2O_3/Al$ film can be used as humidity sensor in room temperature region because temperature dependence of surface resistance of the film is found to be as $0.56 \times 10^{-2} \Omega /^{\circ}C$ in O~ $20^{\circ}C$ range, where as $2.50 \times 10^{-2} \Omega /^{\circ}C$ in 40-$50^{\circ}C$.
순수한 알루미늄을 양극산화한 $AI_2O_3/AI$ 소자 및 그 위에$SnO_2$를 증착, 소자를 제작하여 그들의 전기적인 특성을 여러 습도 분위기 중에서 조사하였다. 단위습도당의 표면저항 변화는 $AI_2O_3/AI$ 소자에서는 $1.40 \times 10^{-2}\Omega$ /RH이었다. 두 소자는 습도에 따른 표면저항 변화중에서 hysteresis현상을 나타내고 있지만, $SnO_2-AI_2O_3/Al$ 소자쪽이 더 작은 hysteresis현상을 나타내었다. $SnO_2-AI_2O_3/Al$ 소자에 있어서 표면저항에 대한 온도의존성은 40-$60^{\circ}C$에서 $2.50 \times 10^{-2} \Omega /^{\circ}C$인것에비해 0~$20^{\circ}C$에서는 $0.56 \times 10^{-2} \Omega /^{\circ}C$와 같이 적기 때문에 $SnO_2-AI_2O_3/Al$ 소자는 실온영역에서 습도센서로 쓸 수 있다고 결론할 수 있다.