초록
박막의 자왜와 그 측정에 연관되는 기판과 박막의 영율 및 자장 중에서 자성체의 영율이 변화하는 ${\Delta}\;E$ 효과 등을 하나의 장치로 측정하는 방법을 연구하였다. 박막이 중착된 기판을 전 극위에 나란하게 외팔보가 되게 지지하면, 전기용량이 형성되고, 그 용량은 시료자체의 무게, 인가된 자장 및 전기장에 의한 굴곡으로 미소변화하며 그것을 미소용량 브리지로 검출하여 역학적 계산으로 박막과 기판의 영율과 자왜 및 ${\Delta}\;E$ 효과를 측정항여 그 결과에 대하여 고찰하였다.
This paper reports a method measuring magnetostriction, Young's moduli of a substrate and film and ${\Delta}\;E$-effect with one apparatus. A substrate deposited with a thin magnetic film is parallely cantilevered paraIled to a metal plate electrode, forming a capacitive cell. The cantilever deflects due to own weight, applied electric and magnetic filed. The smaIl change of the capacitance caused by this deflection is measured by a sensitive capaci-tance bridge. Young's modulus, magnetostriction and ${\Delta}\;E$ effect can be calculated by theoretical analysis with the weight, applied field and deflection data.
