초록
스퍼터방식으로 제조한 FeZrCrN 미결정박막의 질소 유입량의 변화와 Cr 첨가량 변화에 따라 연자기특성과 내반응성 및 내식성을 조사하였다. 질소 유립량 증가에 따라 포화자속밀도는 감소하고 적 절한량(질소 유입량 3%)의 질소가 유입 되었을 때 열처리후에도 이방성 분산 감소효과 등에 의하여 우수 한 연자기특성이 출현 하였으며, 이때 보자력은 0.4 Oe, 투자율은 5 MHz에서 2600 정도를 나타내었다. FeZrN 박막에 Cr을 7.5 at.% 정도 첨가하였을때 포화자속밀도는 12.5kg까지 감소하였지만 양호한 연자기 특성이 그대로 유지되었고 Cr 첨가에 의해 현저한 내식성의 향상과 집합 glass와의 내반응성의 개선이 있었다.
With the variation of Cr content and $N_2$ flow ratio, the soft magnetic properties, corrosion resistance and reactivity of the sputtered nanocrystalline FeZrCrN thin flims were investigated. In case of FeZrCrN thin films, a saturation magnetization was decreased with increasing $N_2$ flow ratio. In addition, good soft magnetic properties were obtained at the flow ratio of 3% $N_2$. The $Fe_{64.9}Zr_{8.8}Cr_{5.8}N_{20.5}$ nanocrystalline thin film after annealing at $550^{\circ}C$ exhibited the saturation magnetization of 12.5kG, low coercivity of 0.4 Oe and high permeability of 2600 at 5 MHz. Films containing up to 7.5% Cr showed an enhanced corrosion resistance and reduced reactivity with the bonding glass without degradation of soft magnetic properties, although the saturation magnetization was decreased slightly with the Cr addtion.
