소음진동 (Journal of KSNVE)

한국소음진동공학회 (The Korean Society for Noise and Vibration Engineering)
권호 표지

반도체공장 진동원인 및 방진대책

  • 박상규 (유니슨산업, 유니슨기술연구소)
  • 발행 : 1994.03.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

이 글에서는 반도체 공장 미진동에 영향을 미치는 여러요인과 전파경로 그리고 방진대책에 대하여 소개하였다. 현재 국내에서는 극히 부분적으로 연구가 진행되고 있으나 대부분 실험실 차원에 머무르고 있는 실정이다. 앞으로는 현재 진행중인 국내의 반도체 공장건설 및 기기설치와 관련하여 현장 진동 data를 축적할 필요가 있으며 산업체와의 공동협조를 통해서 연구차원뿐만 아니라 현장 적용측면 까지 확대되어야 한다고 생각한다.

키워드

참고문헌

  1. 精密振動 Handbook 時田保夫;森村正直(編著)
  2. 機械の 硏究 v.43 no.3 微振動 とその 制振技術 丹羽博志
  3. 한국소음진동학회 '91춘계학술대회 논문집 정밀미진동 제어 이홍기;이규섭
  4. Sound & Vibration Vibration Control Design of High Technology Facilities Eric E. Ungar
  5. 日本機械學會誌 v.89 no.809 超 LSI 工場の 振動問題(微振動 防振技術과 免振技術) 藤田降史
  6. Transactions, Internoise '84 A Method for Reducing the Ground Tremor and Building Vibration Causes by Exciting Forces on a Tunnel Floor Konagai,K.