The analysis of dependence of sensitivity vector of ESPI on the illumination geometry

ESPI 입사광의 기하구조에 따른 sensitivity vector 분석

The sensitivity vector which depends on geometry of object illumination angles and distances of ESPI was analyzed. And the sensitivities of in-plane and out-of-plane displacements have been investigated. From these results, we have the conclusion that it is useful to use the diverging beam for object illumination. With diverging object illumination, only little errors are occurred when we approximate the sensitivity vector to constant all over the object surface.urface.

ESPI에서 물체를 비추는 입사광의 각도 및 거리에 따른 sensitivity vector를 구하고 입사광이 평행광일 때와 발산광일 때 두광원의 파면차이에 의한 변위의 민감도 차이를 비교하였다. In-plane 및 out-of-plane 면위에 민감한 ESPI 광학계 구성에 대해서 각각 분석하였다. 이 결과로부터 ESIP에서 입사광을 광학계의 구성이 용이한 발산광으로 하고 변위량의 계산에서는 물체 전면에서 sensitivity vector가 일정하다고 근사하는 것이 큰 오차가 없이 유용함을 알 수 있었다.