CCD를 이용한 미세렌즈의 MTF 측정

CCD Scanning type MTF Measuring System for Microlens Arrays

미세렌즈 배열의 실시간 분해능 평가를 위하여 CCD를 이용한 MTF 측정장치를 제작하였다. 현미경 대물렌즈로 상을 확대한 후 CCD를 사용하여 직접 광세기 분포함수를 측정하였으며 사용된 CCD의 화소 크기와 간격, 그리고 감도의 균질성 등을 고려하여 측정한 MTF를 보정하였다. 마이크로 컴퓨터를 사용하여 측정자동화 하였으며 자세한 보정방법과 측정장치에 대하여 설명하였다.

Real-time MTF measuring system for testing microlens arrays with a linear CCD array is developed. The spread function of slit image that is relayed and magnified by a microscopic object lens can be measured at several times in a second. The signal uniformity and MTF of CCD is also calibrated. The experimental result of micro lens arrays developed for contact image sensor is presented.sented.