전자공학회논문지A (Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics A)
- 제30A권11호
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- Pages.113-121
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- 1993
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- 1016-135X(pISSN)
비소 비정질화 방법에 의한 얕은 $p^+$ -n 접합의 형성과 특성분석
Formation of the Shallow $p^+$ -n Junction by As-Preamorphization Method and Characterization
초록
In the formation of the shallow p
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